Вакуумное напыление

Интенсивное развитие метода испарения и конденсации в вакууме за последние годы обусловлено универсальностью технологии, высокой производительностью процесса нанесения покрытий, малой энергоёмкостью и рядом других преимуществ по сравнению с традиционными методами получения покрытий различного функционального назначения (гальваническим осаждением, плакированием, плазменным напылением, катодным распылением). Одно из основных преимуществ метода испарения и конденсации в вакууме – экологически чистая технология.

Введение ……………………………………………………………… 3
Закономерности испарения и кондетсации металлов в вакууме………………………………………………………………… 4
Техника испарения металлов в вакууме…………………………………………………………… 8
Конструкции прямоканальных испарителей…………………………………………………………… 9
Основные принципы работы электронно-лучевых и электордуговых испарителей……………………………………………………………11
Магнитронные распылительные системы………………………………………………………………….14
Заключение …………………………………………………………… 17
Список литературы…………………………………………………… 18