Лучевые методы обработки материалов

В течение последних 30 лет сформировалась электронно- и ионно- лучевая технология обработки материалов. В этой новой области электронные и ионные пучки непосредственно используются для осуществления технологических процессов. Возможные применения электронно- и ионно- лучевой технологии простираются от получения субмикроскопических структур в микроэлектронике до выплавки крупных слитков в металлургии. Общим для всех этих установок является использование электронных и ионных пучков.

Введение 2
Электронно-лучевая обработка материалов 2
Технология электронно-лучевой обработки конструкционных материалов 4
Испарение материалов 4
Электронно-лучевая плавка металлов 6
Электронно-лучевая сварка 7
Лазерная обработка материалов 8
Лазерная поверхностная обработка 8
Лазерная резка 9
Лазерная обработка отверстий 10
Ионно-лучевая обработка материалов 10
Ионное легирование 10
Ионно-лучевые методы осаждения покрытий и ионная литография 11
Список используемой литературы 13