Образование дефектов и рост формы поверхности раздела фаз в кристаллах, выращенным методом Чохральского
Статья, 13 Декабря 2011, автор: пользователь скрыл имя
Описание работы
В начале данной статьи рассказывается о том, что исследования врождённых дефектов в кристаллах кремния могут быть разделены на несколько категорий в зависимости от температурного диапазона, при которых они образуются. Отмечается, что до сих пор измерения процедур и параметров, получаемые с исследованиями первой и второй категории, не могли быть применены для того, чтобы полностью понять и предотвратить образование дефекта роста кристалла около точки плавления.