Электронно-зондовые методы исследования микроструктур

Композиционный состав материала с высокой степенью точности может быть определен с помощью масс-спектрометрических, спектроскопических, химических и других методов. Однако перечисленные методы, хотя и обладают высокой чувствительностью, но не позволяют контролировать распределение компонентов в материале и анализировать неоднородные материалы и их поверхности на микронном и субмикронном уровнях.
Решение этой задач стало возможным при создании электронно-зондовых микроскопов и микроанализаторов. Методы, лежащие в основе работы данных приборов, а также различные их реализации, подготовка объектов исследования и будут разобраны в курсовой работе.

Введение
Виды электронной микроскопии
Рентгеноспектральный микроанализ
Растровая (сканирующая) микроскопия
Физические основы растровой электронной микроскопии
Устройство и работа растрового электронного микроскопа
Трансмиссионная микроскопия
Подготовка объекта для исследования и особые требования к ним
Подготовка материалов и образцов для ТЭМ
Подготовка материалов и образцов для РЭМ
Области применения растрового электронного микроскопа
Современные модели электронно-зондового оборудования
Заключение
Литература