Напыление тонких пленок
Реферат, 22 Марта 2011, автор: пользователь скрыл имя
Описание работы
Исследования в этом направлении, относящиеся к области "инженерии поверхности", интенсивно развиваются. На базе использования плёнок возникли такие направления в технике как тонкоплёночная электроника, специальные разделы оптики. В принципе, через "тонкие" плёнки возможна практическая реализация нанокристаллического состояния материалов с целью достижения износостойкости, коррозионной стойкости и других качеств.